台式真空等离子清洗机主要由真空室、高频电源、等离子体发生器、气体控制系统、温度控制系统、观察窗口等组成。采用气体作为清洗介质，有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。清洗机外接一台真空泵，工作时清洗腔中的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面，短时间的清洗就可以使有机污染物被清洗掉，同时污染物被真空泵抽走，其清洗程度达到分子级。除了具有超清洗功能外，在特定条件下还可根据需要改变某些材料表面的性能，等离子体作用于材料表面，使表面分子的化学键发生重组，形成新的表面特性。对某些有特殊用途的材料，在超清洗过程中的辉光放电不但加强了这些材料的粘附性、相容性和浸润性，并可消毒和杀菌。
台式真空等离子清洗机的优势介绍：
1.在经过等离子清洗以后，被清洗物体已经很干燥，不必再经干燥处理即可送往下道工序。
2.不使用三氯乙甲等有害溶剂，清洗后也不会产生有害污染物，属于有利于环保的绿色清洗方法。
3.用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等直射光线不同，它的方向性不强，因此它可以深入物体的微细孔眼和凹陷的内部并完成清洗任务，所以不用过多考虑被清洗物体形状的影响，而且对这些难清洗部位的清洗效果与用氟里昂清洗的效果相似甚至更好。
4.整个清洗工艺流程在几分钟即可完成，因此具有效率高的特点。
5.等离子清洗需要控制的真空度约为100Pa，这种真空度在工厂实际生产中很容易实现。这种装置的设备成本不高，加上清洗过程不需要使用价格昂贵的有机溶剂，因此它的运行成本要低于传统的清洗工艺。
6.由于不需要对清洗液进行运输、贮存、排放等处理措施，所以生产场地很容易保持清洁卫生。
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